Современная обработка полупроводников требует наличия широкого спектра устройств точного управления движением и постоянно ставит перед инженерами-проектировщиками новые задачи, поскольку необходимо поднимать, позиционировать, наклонять и перемещать исполнительные устройства со все возрастающей точностью, скоростью и надежностью.

Микрорегулировки стали возможны с помощью только правильной муфты
В недавней разработке системы перемещения для регулировки углового наклона полупроводниковых пластин для процесса прецизионного осаждения, инженеры остановились на штативе с моторизованными узлами точного ходового винта. Поскольку выполнялись только микронастройки, необходимость учета углового и осевого перемещения на конце ходового винта была небольшой (незначительной). На сверхчистых производствах микроэлектроники и высокоточных контролируемых устройствах необходимо максимально избегать износа и заедания.
Несмотря на то, что традиционные сильфонные муфты обеспечивают отличную компенсацию осевого смещения, они здесь не могут использоваться, поскольку муфте также необходимо удерживать ходовой винт на его центральной оси вращения, не допуская бокового перемещения. Стандартные одинарные гибкие дисковые муфты также не могут использоваться, поскольку они могут обеспечивать лишь чрезвычайно малое осевое перемещение.
Для достижения этой необычной комбинации, была выбрана миниатюрная одинарная гибкая дисковая муфта R+W со специальными приспособлениями для осевого скольжения.

Купить соединительные муфты R+W
Вы можете купить или заказать муфты R+W с официальной гарантией у нас - в компании Сервотехника. Наши менеджеры осуществят подбор необходимых Вам оригинальных комплектующих R+W.

Больше полезной информации и новостей:

Сайт компании Сервотехника
Яндекс Дзен Сервотехники - новости и полезная информация
В Контакте - информация о новинках и продукции